一种化学腐蚀液在硅片表面制绒中的应用
专利名称: 一种化学腐蚀液在硅片表面制绒中的应用
专利类别: 发明
申请号:
申请日期: 2018.11.6
专利号: 2018113136050
第一发明人: 刘欢、赵雷、王文静
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
Baidu
map