| 专利名称: | 一种薄膜沉积镀膜系统及对薄膜进行沉积镀膜的方法 |
| 专利类别: | 发明 |
| 申请号: | |
| 申请日期: | 2019.4.16 |
| 专利号: | 2019103073666 |
| 第一发明人: | 邵涛,孔飞,章程,张帅,张鹏浩 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | |
| 其它备注: | |
一种薄膜沉积镀膜系统及对薄膜进行沉积镀膜的方法
| 专利名称: | 一种薄膜沉积镀膜系统及对薄膜进行沉积镀膜的方法 |
| 专利类别: | 发明 |
| 申请号: | |
| 申请日期: | 2019.4.16 |
| 专利号: | 2019103073666 |
| 第一发明人: | 邵涛,孔飞,章程,张帅,张鹏浩 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | |
| 其它备注: | |